InfraTec MWIR 中波紅外線熱像儀:客戶應用實例 - 熱輻射顯微鏡

EM 系列是安新針對電器與電子元件檢測所開發的熱輻射顯微鏡 (專利第 M609641 號),整合高性能的紅外線相機,能檢測半導體元件或顯示面板,精準的找出問題發生處,為失效分析 Failure Analysis 的強大工具

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▚ 溫度靈敏

▚ 高光學解析

▚ 快速響應

▚ 精準分析




產品特點

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◢ 靈敏的溫度解析度

偵測樣品異常產生的熱輻射,EM 系列透過搭配室溫型或 InSb 製冷型相機,熱靈敏度達 20 mK*

以獲得低雜訊的影像。透過光學量測,達到避免量測誤差且能同時記錄多個量測點

適用於非接觸式量測大面積或複雜的表面溫度

左圖為 IC 在金相顯微鏡 (左) 與 EM-7K 的量測結果 (右) 比較,綠框為漏電流發生處

 

  

 

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◢ 優異的光學解析度

EM 系列所使用的相機解析度最低 640 x 480 或更高*,提供清晰的結果

交換式鏡頭設計,放大倍率最高至 8X (1.25um/pixel) 靈活搭配

不會影響待測物的高頻阻抗與其散熱,因此可精密的檢測出缺陷並精準的定位

左圖為 IC 在不同放大倍率鏡頭下的量測結果與各不同倍率的鏡頭

 

  

 

 

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整合精密運動平台*

搭配軟體自動拼圖為更視野且高解析度的溫度分布影像

解析度最高為 9600 x 7680,量測範圍達到整張電路板並支援分析

左圖為 EM-6K 量測電路板的結果,解析度為 5400 x 4050

中間格放處為 640 x 512

 

  

 

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 ◢ 超高的時間解析度

在解析度 640 x 512 時,每秒鐘最高擷取 1000 張的高速取樣*

若使用格放模式,更可高達每秒 30,000 張的能力,完整記錄瞬間的溫度變化,便於訊號處理與分析

左圖為 EM-8K 量測指紋辨識 IC 的結果,綠框為漏電流處

*各解析度規格與功能會依型號會有所差異

 

 

 

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◢ 精確的訊號分析

因現今電路設計於更低的電壓與更小的耗電下操作,所造成的瑕疵偵測更為不易

相同的現象也在發生於面板,由於 Mini LED 或 Micro LED 的晶片更小,而難以傳統設備檢測

因此 EM 系列搭配強大的影像處理,能提供別於傳統紅外線影像,達到準確的量測結果

左圖為 Mini LED 面板瑕疵檢測,單由紅外線影像 (左) 無法確認瑕疵位置

而經分析後結果 (右) 則如綠框所示與其放大,清楚呈現問題處

 


產品應用

小至積體電路,大至電路板或顯示面板的檢測,包含:

〆 溫度分布

〆 熱點偵測

〆 短路缺陷

〆 阻抗異常

〆 漏電流偵測

 

來源出處 安新精密科技